沈陽科儀是一家具有半個世紀歷史的老企業(yè)。公司前身是中國科學院沈陽科學儀器研制中心，2001年整體轉制為有限責任公司。經(jīng)過半個世紀的發(fā)展，沈陽科儀成為集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務為一體的現(xiàn)代企業(yè)。    

 研發(fā)資金占收入20%

      秉承中科院的傳統(tǒng)，沈陽科儀重視科技創(chuàng)新，擁有專利50余項，組建有“國家真空儀器裝置工程技術研究中心”。公司副總裁張振厚向《中國電子報》記者介紹，公司以高真空、超高真空、超潔凈真空技術為基礎，主要研制生產(chǎn)大型表面分析儀器、薄膜材料制備設備、納米材料制備設備、半導體材料制備設備、空間環(huán)境模擬裝置、真空冶金設備、真空獲得以及高檔真空器件。

      據(jù)張振厚介紹，幾年來，公司壓縮一切開支，保證研發(fā)投入，年研發(fā)投入高達公司上年銷售收入的20%。在研發(fā)中，公司分層次重點部署了IC裝備整機、關鍵部件/子系統(tǒng)等技術。其中，實現(xiàn)了等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備的國產(chǎn)化，該設備零部件國產(chǎn)化率高達70%，技術指標達到甚至超過國際同類產(chǎn)品，已實現(xiàn)銷售。在積極推進6英寸PECVD設備產(chǎn)業(yè)化的同時，目前已啟動12英寸PECVD研發(fā)，并積極組織申請國家“十一五”IC裝備重大專項。在子系統(tǒng)方面，公司承擔了國家“十五”期間的“863”重大專項子課題“羅茨干泵(機組)”項目，已申請了7項國家專利(其中4項發(fā)明專利)，并已獲得應用。

      此外，公司自主研發(fā)的“渦旋干泵”產(chǎn)品已經(jīng)應用到各種鍍膜設備整機上，正在組織批量生產(chǎn)?！俺瑵崈粽婵臻l板閥”已獲3項專利，并獲沈陽市專利優(yōu)秀獎。目前已經(jīng)實現(xiàn)批量生產(chǎn)，銷售勢頭良好。

    打好IC設備“翻身仗”

      近年來，全球集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)和集成電路裝備制造業(yè)向中國轉移，這又為沈陽科儀的發(fā)展提供了新的機遇。張振厚告訴記者，在集成電路生產(chǎn)線上，約有70%的前道工序工藝設備依賴于高真空、超高真空、超潔凈真空技術，這正是沈陽科儀多年來所積累的核心技術。為此，沈陽科儀積極建設具有國際先進水平的集設計、研發(fā)、生產(chǎn)、營銷、服務和培訓為一體的沈陽集成電路裝備制造基地。

      早在2006年，沈陽市政府宣布的“024工程”中的“2”，即形成兩個具有國際影響力的IC裝備核心企業(yè)集團，就有沈陽科儀。沈陽科儀IC成膜PECVD項目已被列為遼寧省重大科技專項，與其他公司聯(lián)合申報的“IC裝備成膜、勻膠與傳輸系統(tǒng)”項目成為沈陽市重大科技計劃項目之一。張振厚說，自2004年開始進入IC裝備領域，沈陽科儀通過開展一系列工作，承擔各級科技計劃項目，逐步發(fā)展成為沈陽地區(qū)IC裝備骨干企業(yè)。