近日，天津檢驗(yàn)檢疫局研制的“納米尺度測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器”獲得國(guó)家實(shí)用新型專利授權(quán)。該項(xiàng)目采用國(guó)際先進(jìn)的聚焦離子束刻蝕技術(shù)，具有分辨率高、線距均勻、材料穩(wěn)定、設(shè)計(jì)獨(dú)特等特點(diǎn)，可以滿足不同形狀樣品的比對(duì)測(cè)量需求，有效解決了納米尺度更準(zhǔn)確的測(cè)量問(wèn)題，填補(bǔ)了納米材料領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)器國(guó)內(nèi)空白，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

      隨著納米科技飛速發(fā)展，用于測(cè)量納米尺度的高分辨率測(cè)量器具一直是人們所關(guān)注的課題，為了得到更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果，需要有一個(gè)更接近于樣品尺度的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)??納米標(biāo)準(zhǔn)器。

      天津局課題組經(jīng)過(guò)兩年的刻苦鉆研，通過(guò)精選納米標(biāo)準(zhǔn)器材質(zhì)，采用先進(jìn)的聚焦離子束刻蝕技術(shù)，研制成功一種新型的用于掃描電鏡納米尺度測(cè)量的納米標(biāo)準(zhǔn)器。該納米標(biāo)準(zhǔn)器分辨率高，具有78納米的標(biāo)準(zhǔn)周期線距，遠(yuǎn)小于目前公認(rèn)的S1000標(biāo)準(zhǔn)器的線距1000納米（1微米），是真正意義上的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)器，并且保證每個(gè)刻度周期線距的均勻性和一致性，可使得最小線距整數(shù)倍的距離都可以作為標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度來(lái)比對(duì)，材料膨脹系數(shù)低、性能穩(wěn)定，設(shè)計(jì)將橫線、豎線、點(diǎn)陣和圓環(huán)形狀的標(biāo)準(zhǔn)刻度融于一體，可以滿足不同形狀樣品的比對(duì)測(cè)量需求。