“微電子與納米材料及特性材料測量技術(shù)和計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的研究”(2006-05-25)
發(fā)布時(shí)間:2007-12-04
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“微電子與納米材料及特性材料測量技術(shù)和計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的研究” 是 “十五”國家重大科技專項(xiàng)“重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究專項(xiàng)”之一,該課題的主要目的是為納米技術(shù)等領(lǐng)域的發(fā)展建立測量儀器與方法的標(biāo)準(zhǔn)化體系。通過研究使我國納米計(jì)量得到突破性的發(fā)展,達(dá)到國際領(lǐng)先水平,促進(jìn)和增強(qiáng)我國納米量值傳遞體系的發(fā)展和建立;形成一些有別于國外現(xiàn)有技術(shù)專利的釹鐵硼永磁材料結(jié)構(gòu)和性能的評價(jià)體系。
在中國納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會成立大會上,與會專家一致認(rèn)為納米量值標(biāo)準(zhǔn)與溯源是我國納米技術(shù)發(fā)展亟待解決的問題,并在委員會下成立了納米尺度的測量方法標(biāo)準(zhǔn)化工作組,著手進(jìn)行相關(guān)的納米尺度測量儀器與方法的標(biāo)準(zhǔn)制定工作。課題所建立的“2.5維大范圍納米結(jié)構(gòu)測量系統(tǒng)”目前只有美、德兩個(gè)國家在進(jìn)行研制,該系統(tǒng)的建立填補(bǔ)了我國在大范圍納米測量儀器上的空白,達(dá)到國際先進(jìn)水平。能夠作為我國納米量值傳遞體系的重要技術(shù)設(shè)備和溯源基準(zhǔn),為“重要技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究”專項(xiàng)中涉及到納米技術(shù)、信息技術(shù)、材料技術(shù)和先進(jìn)制造等領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)的制定實(shí)施提供有效的技術(shù)支撐和驗(yàn)證手段。可以對納米技術(shù)領(lǐng)域的計(jì)量設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)、對納米傳遞標(biāo)準(zhǔn)提供鑒定測試服務(wù),對部分產(chǎn)品可進(jìn)行直接測量,保證納米幾何量量值溯源與統(tǒng)一,有利于促進(jìn)相關(guān)高新技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。滿足了國際關(guān)鍵量比對的需求,實(shí)現(xiàn)我國納米技術(shù)領(lǐng)域檢測數(shù)據(jù)的國際互認(rèn),增強(qiáng)我國高新技術(shù)領(lǐng)域產(chǎn)品和技術(shù)的國際競爭實(shí)力。
課題所建立的釹鐵硼原料、粉體中間體和成品中總氧量及不同狀態(tài)氧的分別定量方法和釹鐵硼粉體粒度大小分布的定量測定方法,為建立釹鐵硼材料中氧及其形態(tài)分析方法的標(biāo)準(zhǔn)方法提供了技術(shù)基礎(chǔ)。所形成的釹鐵硼分析測試方法體系現(xiàn)已轉(zhuǎn)化為中國金屬學(xué)會推薦方法。